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微观装置的制造及其处理技术
  • 一种微机电系统器件能够形成为在微机电系统器件的器件晶片的一或多个可移动微机电系统结构上包含抗静摩擦多晶硅层以降低、最小化及/或消除可移动微机电系统结构与微机电系统器件的其它组件或结构之间的静摩擦。抗静摩擦多晶硅层能够形成为使得抗静摩擦多晶硅...
  • 本申请公开了一种MEMS器件及其制备方法,该制备方法包括:提供第一晶圆,在所述第一晶圆的上部形成空腔,并在所述空腔的底部形成多孔硅层;提供表面具有刻蚀停止层的第二晶圆,键合所述第一晶圆的上侧与所述刻蚀停止层;在所述第二晶圆远离所述第一晶圆的...
  • 本发明一些方面提供一种微机电系统,其包含具有第一凹穴的半导体衬底。半导体衬底形成与第一凹穴相邻的底座。装置上覆于底座且通过第一凹穴内的金属接合到半导体衬底。多个第二凹穴形成于装置下方的底座的表面中,其中第二凹穴小于第一凹穴。在一些教示中,第...
  • 本公开的各种实施例涉及一种半导体装置及其形成方法。所述半导体装置包括衬底。空腔设置在衬底中。微机电系统(MEMS)层设置在衬底之上。MEMS层包括设置在空腔之上的可移动膜片。可移动膜片包括中心区及外围区。可移动膜片在可移动膜片的中心区中是平...
  • 在半导体基质材料层中的凹陷表面上形成半导体氧化物板。在半导体基质材料层中形成多个梳结构。所述多个梳结构包括通过第一半导体部分而间隔开的一对内梳结构。使用各向同性刻蚀工艺相对于所述多个梳结构选择性地移除在侧向上环绕第一半导体部分的第二半导体部...
  • 本发明公开了集成挠曲电位置检测的电热微动平台、检测方法及其制备方法,属于微机电技术领域,该平台包括外围支撑结构、电热驱动结构、微平台,以及用于检测微平台的位置和运动状态的挠曲电位置检测结构。本发明将挠曲电位置检测结构与电热微动平台进行一体式...
  • 本实用新型公开一种用于贵重物品包装的减震缓冲结构,包括独立成型的底垫以及侧衬体;所述底垫为可进行裁切的软性材料垫,垫装于矩形包装盒的上、下表面;矩形包装盒以上、下底垫之间的空间作为物品的放置平面;所述侧衬体设置于放置平面的四边外缘,侧衬体包...
  • 本实用新型涉及拖挂式房屋门锁技术领域,公开了一种拖挂式房屋门锁电动锁闩机构,固定板的下端转动设置有驱动锁闩移动的一体式锁闩导向机构;采用了体积更小的横置电机及传动效率更高,噪音更小,寿命更长的直齿锥形齿轮进行传动,直齿圆锥齿轮传动的啮合角度...
  • 一种致动机构,用于致动车门,其中该致动机构具有可手动致动的把手部件,把手部件能够在初始位置与致动位置之间转移,在初始位置,把手部件优选地完全沉入车辆外蒙皮中;在致动位置,把手部件至少部分地或局部地以从车辆外蒙皮伸出的方式突出,使得在把手部件...
  • 本实用新型属于物流运输技术领域,公开一种保温箱,包括箱体、隔板和吸水结构,箱体具有容纳腔;隔板设置于容纳腔内,隔板将容纳腔分隔为多个子腔体,子腔体用于容纳待运输的物品;隔板的顶部和底部均设置有定位结构,定位结构用于对冷媒进行定位;吸水结构设...
  • 本实用新型公开了一种便于调节的船舶机械用维修平台,包括:移动底座,所述移动底座的底部四周均设置有具有自锁功能的滑轮,且移动底座上方两侧均设置有直线导轨;移动平台,所述移动平台安装于移动底座的上方,且直线导轨的输出端与移动平台的底部连接,通过...
  • 本实用新型公开了一种防静电用吸塑盘,包括:盘体,其用于存放元器件;放置腔,所述放置腔设置在盘体表面;多个拉伸区,所有的拉伸区均设置在放置腔的边缘,每个所述拉伸区的底部内壁与所述放置腔的底面齐平;所有的所述拉伸区均与放置腔导通并形成联通式结构...
  • 本实用新型公开了一种具有分隔结构的细胞样本存放箱,涉及生物细胞领域,包括箱体,所述箱体的内部安装有定位组件,所述箱体的底部安装有保温机构,所述定位组件包括存放盒,所述存放盒放置在箱体的内部,所述存放盒的内部开设有若干个定位槽,所述存放盒的顶...
  • 本实用新型公开了一种横放连杆包装内衬结构,包括盒体、底板和隔板,盒体的顶部具有开口朝上的空腔,底板滑动套设于空腔内,底板的顶部并排设置有若干个主挡板和若干个次挡板,主挡板及次挡板均沿着底板的长度方向一一对应分布,隔板顶部固定连接有凸起,凸起...
  • 本实用新型公开了一种食品储存装置,包括:电器主体,电器主体内设置有带敞口的内胆,电器主体上设有用于打开或者闭合内胆的敞口的开关门板,电器主体设有换热模块,换热模块包括用于冷却内胆的制冷组件和用于加热内胆的制热组件,电器主体设有检测位于内胆的...
  • 本发明涉及放射性金属样品储存装置,包括密封屏蔽铅盖、样品吊篮、真空罐和储存井;所述密封屏蔽铅盖与所述样品吊篮连接,且能够与所述真空罐配合形成储存空间;所述储存井周围布置有重混凝土;所述真空罐能够置于所述储存井内。本发明的有益效果如下:本发明...
  • 本实用新型提供了一种多功能车缝收纳盒,包括从上至下依次设置的上层盒体、中层盒体和下层盒体,所述上层盒体上表面敞开设置,所述上层盒体内经第一分隔板分隔成前后两个放置区,后端的放置区内经第二分隔板分隔成第一存放区和第二存放区,且所述第二存放区上...
  • 本发明公开了一种空气油下都能实现表面粘附力调控的方法,所述方法包括如下步骤:步骤一、在具有紫外光响应的具有微纳米结构的表面上进行氟硅烷修饰,通过加热使氟硅烷在表面更均匀;步骤二、将氟硅烷修饰后的表面放在紫外光下,通过控制紫外光照的时间和加热...
  • 本实用新型提供了一种艾绒防潮存储装置,包括底座,底座上设有暖风机及导风管,导风管竖直设置在底座上,底座上还设有储存桶且储存桶套设在导风管上,储存桶内设有多个挡板,挡板将储存桶的内部空间分隔为至少两个干燥腔且储存桶上设有导风孔,储存桶上还设有...
  • 本申请涉及一种防止玻璃盖板边缘磨损的装置。该防止玻璃盖板边缘磨损的装置包括:支架、限位组件及承托组件;限位组件包括多个防护件,各防护件分别设置于支架上,在一个防护件中,防护件包括第一支撑柱、第二支撑柱、第一硅胶块及第二硅胶块,第一支撑柱及第...
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