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申请/专利权人：纳狮新材料有限公司杭州分公司;纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司

摘要：本发明公开了一种冲压模具的超声清洗及其表面CrAlN涂层的制备，属于高强度板冲压模具制备技术领域，具体涉及采用了冲压模具作为基材，基材用渗氮的方式进行硬化，提高基材的承载力，避免蛋壳效应；涂层中第一层为结合层，结合层确保整个基材和涂层的附着力，第二层为结构相对疏松的能量吸收层，当来自外界的高强度压力时，可对应力进行吸收和转移，类似于“海绵弹性”的效果，第三层为主要功能层，主要功能层承接大部分来自外界的冲击应力，第四层为表面功能层，表面功能层是一个高硬度的表层，来抵抗与加工材料的磨损。

主权项：1.一种模具的CrAlN涂层，包括：基体材料，以及结合于基体材料上的CrAlN涂层；所述CrAlN涂层包括结合层、能量吸收层、主要功能层和表面功能层，结合层结合于基体材料上，能量吸收层结合于结合层上，主要功能层结合于能量吸收层上，主要功能层中含有CrAlN层、CrN层和CrAl层，主要功能层由5组循环层构成；单组循环层包括1层CrAlN层，以及结合于CrAlN层上的由CrN层和CrAl层构成的重复层，重复层由12组CrNCrAl层构成；表面功能层结合于主要功能层上；所述CrAlN涂层厚度为6.4μm以上；所述能量吸收层的涂层厚度为2~4μm；表面功能层的厚度为1~2μm；所述主要功能层的厚度为3μm以上；所述主要功能层采用多弧离子镀的方法进行沉积，主要功能层的沉积中，关闭Cr靶，打开CrAl靶，通入氮气800sccm，气压设置为4Pa，设置靶电流为200A，偏压100V，时间600s沉积CrAlN层；关闭CrAl靶，打开Cr靶，通入氮气600sccm，气压设置为0.5Pa，设置靶电流150A，偏压10V，时间50s沉积CrN层；关闭Cr靶，打开CrAl靶，关闭氮气，气压设置为4Pa，设置靶电流为200A，偏压100V，时间50s沉积CrAl层；循环沉积CrN层和CrAl层12次；主要功能层循环沉积5次。

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