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申请/专利权人：赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司
申请日：2023-10-10
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220977136U
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44;F16J15/06;C23C16/458;C23C16/455
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型公开了一种LPCVD软着陆双层炉管机构，其技术方案要点是，包括炉体，炉体一侧设有炉口，另一侧设有炉尾，所述炉体内还设有石英管，所述石英管内设有金属管，所述炉体靠近炉口一端通过第一法兰组分别与石英管及金属管连接，所述炉体靠近炉尾一端还通过第二法兰组与石英管及金属管连接，所述金属管与第二法兰组之间还设有金属波纹管，所述金属管内还设有支撑装置，所述支撑装置上还设有放置装置，本实用新型减少内石英管的损伤，通过对内石英管内壁上加装金属管有效的保证石英管的使用寿命，同时降低了生产成本。
主权项：1.一种LPCVD软着陆双层炉管机构，包括炉体1，炉体1一侧设有炉口2，另一侧设有炉尾3，其特征在于：所述炉体1内还设有石英管4，所述石英管4内设有金属管5，所述炉体1靠近炉口2一端通过第一法兰组6分别与石英管4及金属管5连接，所述炉体1靠近炉尾3一端还通过第二法兰组7与石英管4及金属管5连接，所述金属管5与第二法兰组7之间还设有金属波纹管8，所述金属管5内还设有支撑装置9，所述支撑装置9上还设有放置装置10；所述炉口2还设有贯穿第一法兰组6的进气口14，所述第一法兰组6为水冷法兰，所述第一法兰组6上还设有第一进水口15及第一出水口16；所述第二法兰组7上还设有与炉体1连通的通气管17，所述第二法兰组7为水冷法兰，所述第二法兰组7上还设有第二进水口18及第二出水口19，所述第一法兰组6及第二法兰组7分别有若干水冷法兰连接而成，所述第一法兰组6及第二法兰组7之间还设有若干密封垫圈26。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司 一种LPCVD软着陆双层炉管机构
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