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申请/专利权人：广西喜荟天成科技有限公司
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-05-28
公开（公告）号：CN118081586A
主分类号：B24B29/02
分类号：B24B29/02;B24B27/033;B24B57/04;B24B57/02;H01L21/3063
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.05.28#公开
摘要：本发明公开了一种莫桑石晶体的电化学机械分步抛光工艺，包括将经打圆成型的莫桑石晶体放在硝酸钠电解液中氧化，得到硬度较低的氧化层，随后将氧化后的莫桑石晶体放在抛光机上进行粗抛，粗抛结束后再次进行氧化随后进行精抛。分别设置电化学机械抛光第一次和第二次阶段的电压、转速和磨粒粒径的工艺参数，其中的第一阶段采用电压为10V、转速为40rmin、金刚石粒径为5.0μm、氧化铝粒径为7.0μm，第二阶段采用电压为5V、转速为50rmin、金刚石粒径为1.0μm、氧化铝粒径为1.5μm，可以实现较高的抛光效率和较好的抛光效果，最终获得莫桑钻成品。
主权项：1.一种莫桑石晶体的电化学机械分步抛光工艺，其特征在于，将打圆成型后的莫桑石晶体放在硝酸钠电解液中进行电化学氧化，然后在氧化铝磨粒中增加小粒径金刚石磨粒，对莫桑石晶体进行两次电化学机械抛光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广西喜荟天成科技有限公司 一种莫桑石晶体的电化学机械分步抛光工艺
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