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【发明公布】一种柔性眼压监测传感器及其制备方法_北京理工大学_202410219912.1 

申请/专利权人:北京理工大学

申请日:2024-02-28

公开(公告)日:2024-05-28

公开(公告)号:CN118078207A

主分类号:A61B3/16

分类号:A61B3/16

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.06.14#实质审查的生效;2024.05.28#公开

摘要:本发明公开了一种柔性眼压监测传感器及其制备方法,属于柔性传感领域,包括使用MXene材料作为眼压传感器的敏感材料,所述传感器电极采用喷涂结合光刻技术制备得到;所述MXene材料为Ti3C2Tx、Ti2CTx、Ti3CNTx、Nb2CTx、Mo2TiC2Tx、V2CTx或Mo2CTx中的任意一种。所述制备方法为使用光刻得到可去除的掩模版,随后利用喷涂将MXene沉积在电极处,使用乙醇去除光刻胶后得到图案化电极,随后利用热压封装等技术得到MXene基眼压传感器;本发明公开的制备方法是使用MXene作为眼压传感器的电极材料,具有优异的灵敏度;本发明的制备方法简单,与现有半导体加工方法兼容度高,具有批量化制备可行性。

主权项:1.一种柔性眼压监测传感器,其特征在于,包括使用MXene材料作为眼压传感器的敏感材料以及利用光刻作为掩模版得到的传感器电极结构,所述MXene材料喷涂在电极区域;所述MXene材料为Ti3C2Tx、Ti2CTx、Ti3CNTx、Nb2CTx、Mo2TiC2Tx、V2CTx或Mo2CTx中的任意一种。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京理工大学 一种柔性眼压监测传感器及其制备方法

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