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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
申请日：2019-10-11
公开（公告）日：2024-05-31
公开（公告）号：CN111048441B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;B08B9/032
优先权：["20181012 JP 2018-193042"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.31#授权;2021.08.31#实质审查的生效;2020.04.21#公开
摘要：本发明提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置100具有形成供处理气体流动的流路103的内壁104，还具备：第一配管130，形成流路103的一部分；能够更换的配管部170，形成流路103的一部分，且位于第一配管130的流路103的下游侧并与第一配管130连接，配管部具有对将附着于内壁104的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部174；及第二配管150，形成流路103的一部分，且位于配管部170的流路103的下游侧并与配管部170连接。
主权项：1.一种除害装置，具有形成供处理气体流动的流路的内壁，所述除害装置的特征在于，具备：第一配管，该第一配管形成所述流路的一部分；能够更换的配管部，该配管部形成所述流路的一部分，并且相比所述第一配管位于所述流路的下游侧并与所述第一配管连接，该配管部具有对将附着于所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部；第二配管，该第二配管形成所述流路的一部分，并且相比所述配管部位于所述流路的下游侧并与所述配管部连接；第二段喷洒部，该第二段喷洒部位于所述第一段喷洒部的上游侧，对将附着于所述第一段喷洒部的上游侧的所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒；以及压力传感器，该压力传感器对所述第一段喷洒部的上游侧的所述流路内的压力进行测量，所述第一段喷洒部在所述压力传感器检测到比预先设定的阈值高的压力时进行喷洒，所述第二段喷洒部在流动于所述流路且引起固体生成物的产生的处理气体停止时进行喷洒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 除害装置、除害装置的配管部的更换方法及除害装置的配管的清洗方法
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