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申请/专利权人：华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司
申请日：2024-03-27
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118142916A
主分类号：B08B1/12
分类号：B08B1/12;B08B1/40;B08B1/34;B08B11/00;B08B13/00;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本申请实施例提供了一种用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置，输液结构包括固定套筒、转轴和第一套管，固定套筒的内部具有装配腔，固定套筒的侧壁的内壁面设有输液管，固定套筒的侧壁开设有输液孔，输液孔与输液管连通；转轴具有沿着其轴线贯通的输液通道，输液管的至少部分由输液装配端伸入输液通道内，且输液管的外周面与输液通道的内壁之间具有第一间隙，输液装配端的内壁开设有至少一个第一凹槽；第一套管的一端朝向输液管与固定套筒的内壁连接处，且为喇叭形开口。根据本申请实施例提供输液结构及晶圆清洗装置，能够有效的减少DIW由输液管输入转轴的输液通道时，回流的量并能够防止DIW废液重新进入输液通道内。
主权项：1.一种用于晶圆清洗装置的输液结构，其特征在于，所述输液结构包括：固定套筒，所述固定套筒的内部具有装配腔，所述固定套筒的内壁面设有输液管；转轴，所述转轴的输液装配端伸入所述固定套筒的所述装配腔内，并与所述固定套筒之间转动连接，所述转轴的清洁装配端与所述晶圆清洗装置的清洁件连接，以与所述清洁件同步转动，所述转轴具有沿着其轴线贯通的输液通道，所述输液管的至少部分由所述输液装配端伸入所述输液通道内，且所述输液管的外周面与所述输液通道的内壁之间具有第一间隙，所述输液通道的内壁对应所述第一间隙的位置开设有至少一个第一凹槽；第一套管，所述第一套管的一端的端面与所述输液装配端的端面连接，其另一端朝向所述输液管与所述固定套筒的内壁连接处，且为喇叭形开口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司 用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置
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