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【实用新型】一种用于芯片加工的芯片接合装置_惠的半导体(上海)有限公司_202323046706.5 

申请/专利权人:惠的半导体(上海)有限公司

申请日:2023-11-10

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN221102027U

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/687

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.07#授权

摘要:本实用新型公开了一种用于芯片加工的芯片接合装置,包括操作台,所述操作台顶部的两侧均固定连接有固定板,位于左侧所述固定板的一侧通过固定架固定连接有电机,所述电机的输出轴通过联轴器固定连接有转动杆,本实用新型涉及芯片加工技术领域。该用于芯片加工的芯片接合装置,通过控制电动伸缩杆延伸,移动板通过缓冲机构带动左边的限位架向右移动,使两个限位架相对靠近,从而可以方便的将两个限位架内的芯片对准接合,并通过电机带动转动杆转动,转动杆通过电动伸缩杆和移动板带动限位架转动,从而可以方便的对接合的两个芯片进行翻转,能够快速的对两个芯片其他面进行滴胶接合,提高了芯片加工的效率。

主权项:1.一种用于芯片加工的芯片接合装置,包括操作台1,其特征在于:所述操作台1顶部的两侧均固定连接有固定板2,位于左侧所述固定板2的一侧通过固定架固定连接有电机3,所述电机3的输出轴通过联轴器固定连接有转动杆4,所述转动杆4的一端贯穿固定板2并延伸至固定板2的外部,所述转动杆4延伸至固定板2外部的一端固定连接有翻转板5,所述翻转板5的一侧固定连接有电动伸缩杆6,所述电动伸缩杆6的伸缩端固定连接有移动板7,所述移动板7的一侧设置有缓冲机构8,位于右侧所述固定板2电动一侧通过轴承转动连接有翻转杆9,所述翻转杆9的一端与缓冲机构8的一侧均固定连接有限位架10,所述限位架10内腔的顶部与底部均固定安装有海绵垫11。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 惠的半导体(上海)有限公司 一种用于芯片加工的芯片接合装置

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