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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
摘要：公开用于生产单晶硅锭的方法，其中在锭生长之前将石英颗粒阵列添加到坩埚组合件中。如在连续丘克拉斯基continuousCzochralski；CCz工艺中，所述阵列可安置于所述坩埚组合件的外部熔融区域中。所述阵列由通过连结部件互连的石英颗粒制成。
主权项：1.一种用于形成单晶硅锭的方法，其包括：将固相多晶硅添加到坩埚组合件中；将石英颗粒阵列添加到所述坩埚组合件中，所述阵列包括多个石英颗粒及互连所述石英颗粒的多个连结部件；加热所述多晶硅以形成硅熔融物；使所述硅熔融物与晶种接触；及从所述硅熔融物取出所述晶种以形成硅锭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 石英颗粒阵列在单晶硅锭生产期间的用途
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