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一种用于转塔式固晶装置的邦头的角度校正机构 

申请/专利权人:上海赢朔电子科技股份有限公司

申请日:2024-04-25

公开(公告)日:2024-06-14

公开(公告)号:CN118197966A

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/68

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.02#实质审查的生效;2024.06.14#公开

摘要:本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的邦头的角度校正机构包括一个微型伺服电机10;该微型伺服电机10整体呈圆柱体形且内部中空,微型伺服电机10包括固定部11和旋转部12;固定部11的一端与旋转部12的一端活动连接,并且旋转部12能够相对于固定部11绕微型伺服电机10的中心轴线旋转;旋转部12的远离固定部11的一端用于与吸嘴20固定连接,使得旋转部12能够带动吸嘴20绕微型伺服电机10的中心轴线旋转。所述角度校正机构的微型伺服电机10的旋转部12能够带动吸嘴20绕微型伺服电机10的中心轴线旋转,吸嘴20进而带动其所吸附的芯片旋转直到吸附于吸嘴20上的芯片与引线框架上的对应该芯片的芯片放置区域的位置正对。

主权项:1.一种用于转塔式固晶装置的邦头的角度校正机构,其特征在于,该角度校正机构包括一个微型伺服电机10;该微型伺服电机10整体呈圆柱体形且内部中空,微型伺服电机10包括固定部11和旋转部12;固定部11的一端与旋转部12的一端活动连接,并且旋转部12能够相对于固定部11绕微型伺服电机10的中心轴线旋转;旋转部12的远离固定部11的一端用于与吸嘴20固定连接,使得旋转部12能够带动吸嘴20绕微型伺服电机10的中心轴线旋转;旋转部12的内部空腔用于与吸嘴20内部的通气孔21相连通。

全文数据:

权利要求:

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