申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司

申请日：2024-03-18

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN118208491A

主分类号：F16C33/04

分类号：F16C33/04;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.18#公开

摘要：本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的邦头驱动结构单元，包括第一传动轴10、第一轴套组件20、第二轴套组件30、第二传动轴40、第三轴套组件50、以及第四轴套组件60；第一传动轴10整体呈T字型；第二传动轴40整体呈圆筒形，第二传动轴40的内部中空且两端开口；第一轴套本体21、第二轴套本体部31、第三轴套本体部51以及第四轴套本体部61四者均呈圆环形；第一轴套本体部21和第二轴套本体部31均套设于第一传动轴10的外侧；第三轴套本体部51和第四轴套本体部61均套设于第二传动轴40的外侧；第二传动轴40套设于第一传动轴10的外侧，第二传动轴40的轴线与第一传动轴10的轴线位于同一条直线上。所述邦头驱动结构单元能够驱动位于同一个平面内的多个目标邦头沿着不同的方向做线性运动。

主权项：1.用于转塔式固晶装置的邦头驱动结构单元，其特征在于，该邦头驱动结构单元包括第一传动轴10、第一轴套组件20、第二轴套组件30、第二传动轴40、第三轴套组件50、以及第四轴套组件60；第三轴套组件50与第二轴套组件30的形状和结构均相同；第四轴套组件60与第一轴套组件20的形状和结构均相同；第一轴套组件20包括第一轴套本体21；第二轴套组件30包括第二轴套本体部31；第三轴套组件50包括第三轴套本体部51；第四轴套组件60包括第四轴套本体部61；第一传动轴10整体呈T字型，第一传动轴10包括主体部11、圆形盘部12和轴头部13；第一传动轴10的主体部11呈圆柱体形，轴头部13呈圆筒形且内部中空，圆形盘部12的一侧面的中心位置与主体部11的一端固定连接，圆形盘部12的另一侧面与轴头部13的一端固定连接；第二传动轴40整体呈圆筒形，第二传动轴40的内部中空且两端开口；第一轴套本体21、第二轴套本体部31、第三轴套本体部51以及第四轴套本体部61四者均呈圆环形；第一轴套本体部21、第二轴套本体部31、第三轴套本体部51以及第四轴套本体部61四者均用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接；沿着第一传动轴10的轴头部13的径向方向，第一轴套本体部21和第二轴套本体部31二者均套设于第一传动轴10的轴头部13的外侧；沿着第一传动轴10的轴线方向，第一轴套本体部21位于轴头部13的远离圆形盘部12的一端，第二轴套本体部31位于轴头部13的靠近圆形盘部12的一端；沿着第二传动轴40的径向方向，第三轴套本体部51和第四轴套本体部61二者均套设于第二传动轴40的外侧；所述邦头驱动结构单元还包括第一轴承24、第二轴承34、以及第一挡圈26；沿着传动轴10的轴头部13的径向方向，第一轴套本体部21与第一传动轴10的轴头部13之间设置有圆环形的第一轴承24，使得第一轴套本体部21能够绕第一传动轴10的轴头部13转动；沿着传动轴10的轴头部13的径向方向，第二轴套本体部31与第一传动轴10的轴头部13之间设置有圆环形的第二轴承34，使得第二轴套本体部31能够绕第一传动轴10的轴头部13转动；第二传动轴40套设于第一传动轴10的主体部11的外侧，第二传动轴40的轴线与第一传动轴10的轴线位于同一条直线上；沿着第一传动轴10的轴线方向，第一轴承24与第二轴承34之间设置有一个圆环形的第一挡圈26，并且沿着传动轴10的轴头部13的径向方向，第一挡圈26套设于第一传动轴10的轴头部13的外侧，第一挡圈26用于对第一轴承24和第二轴承34沿着第一传动轴10的轴线方向起限位作用。

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百度查询： 上海赢朔电子科技股份有限公司 用于转塔式固晶装置的邦头驱动结构单元

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