申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司

申请日：2024-03-19

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN118213316A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/60

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.18#公开

摘要：本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的邦头的平衡机构，包括十字形件10、蝎形件20、以及弹性组件30；十字形件10包括主体部11、第一翼部12、以及第二翼部13；蝎形件20包括蝎头部21、蝎腹部22、蝎尾部23、第一钳部24、以及第二钳部25；弹性组件30包括调节螺栓31、弹簧固定盖32、以及弹簧33；螺杆部31a的一端与弹簧固定座部31b的底部的外表面的中心位置固定连接；调节螺栓31的螺杆部31a的另一端与蝎尾部23的第十螺纹孔23a螺纹连接；主体部11后端固定连接于弹簧固定盖32的凹槽32a中；弹簧33的一端固定连接于弹簧固定盖32的凹坑32b的内底面，其另一端固定连接于弹簧固定座部31b的内底面，通过旋转调节螺栓31能够调节弹簧33的长度；第一翼部12和第二翼部13均与蝎头部21活动连接。所述平衡机构能够实现吸嘴在靠近以及接触芯片时得到适当缓冲，进而避免吸嘴接触到芯片的瞬间芯片表面留痕或破损，甚至芯片碎裂。

主权项：1.一种用于转塔式固晶装置的邦头的平衡机构，其特征在于，该平衡机构包括十字形件10、蝎形件20、以及弹性组件30；十字形件10包括主体部11、第一翼部12、以及第二翼部13；主体部11呈细长条的杆体状；第一翼部12和第二翼部13分别与主体部11的两个侧面固定连接，第一翼部12和第二翼部13对称设置于主体部11的两侧，并且第一翼部12和第二翼部13所在的直线与主体部11相垂直；蝎形件20包括蝎头部21、蝎腹部22、蝎尾部23、第一钳部24、以及第二钳部25，蝎头部21与蝎腹部22的一端固定连接成“T”字型，蝎腹部22的另一端与蝎尾部23固定连接成“L”字型，第一钳部24和第二钳部25的里端分别与蝎头部21的两端固定连接，并且第一钳部24和第二钳部25均位于蝎头部21的背向蝎尾部23的一侧；蝎形件20的第一钳部24和第二钳部25的末端均用于与所述邦头固定连接，使得蝎形件20固定连接于邦头上；蝎形件20的蝎尾部23设置有第十螺纹孔23a，第十螺纹孔23a的延伸方向与蝎腹部22的延伸方向一致；弹性组件30包括调节螺栓31、弹簧固定盖32、以及弹簧33；调节螺栓31包括螺杆部31a和弹簧固定座部31b；弹簧固定座部31b呈圆筒形且内部中空，弹簧固定座部31b的一端封闭且另一端开口；螺杆部31a的一端与弹簧固定座部31b的底部的外表面的中心位置固定连接；调节螺栓31的螺杆部31a的另一端的外螺纹与蝎形件20的蝎尾部23的第十螺纹孔23a的内螺纹相互啮合而实现螺纹连接；弹簧固定盖32的一面设置有一个U形的凹槽32a，与之相对的另一个面设置有一个圆形的凹坑32b；十字形件10的主体部11后端固定连接于弹簧固定盖32的凹槽32a中；弹簧33的一端固定连接于弹簧固定盖32的凹坑32b的内底面，弹簧33的另一端固定连接于调节螺栓31的弹簧固定座部31b的内底面，通过旋转调节螺栓31能够调节弹簧33的长度；十字形件10的主体部11的前端用于与吸嘴组件70连接；十字形件10的第一翼部12和第二翼部13均与蝎形件20的蝎头部21活动连接，使得十字形件10的主体部11和蝎形件20的蝎头部21构成一个跷跷板结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海赢朔电子科技股份有限公司 一种用于转塔式固晶装置的邦头的平衡机构

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