申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司

申请日：2024-03-19

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN118213314A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/60

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.18#公开

摘要：本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的跷跷板式缓冲结构，包括梁形件10、蝎形件20、以及弹性组件30；梁形件10上设置有一个第一通孔11，第一通孔11贯通梁形件10；梁形件10的第一通孔11内设置有一个圆柱形的销轴，并且销轴的两端分别从梁形件10的两侧穿出；蝎形件20包括蝎头部21、蝎腹部22、蝎尾部23、第一钳部24、第二钳部25、第一蝎眼部26、以及第二蝎眼部27；梁形件10设置于蝎头部21的第一蝎眼部26和第二蝎眼部27之间，销轴的两端分别套设于第一蝎眼部26的第二通孔26a内和第二蝎眼部27的第三通孔27a内，实现梁形件10与蝎形件20的蝎头部21铰接。所述跷跷板式缓冲结构能够实现吸嘴在靠近以及接触芯片时能够适当缓冲，进而避免吸嘴接触到芯片的瞬间芯片表面留痕或破损，甚至芯片碎裂。

主权项：1.用于转塔式固晶装置的跷跷板式缓冲结构，其特征在于，该跷跷板式缓冲结构包括梁形件10、蝎形件20、以及弹性组件30；梁形件10呈细长条的杆体状；梁形件10上设置有一个第一通孔11，第一通孔11贯通梁形件10；梁形件10的第一通孔11内设置有一个圆柱形的销轴，并且销轴的两端分别从梁形件10的两侧穿出；蝎形件20包括蝎头部21、蝎腹部22、蝎尾部23、第一钳部24、第二钳部25、第一蝎眼部26、以及第二蝎眼部27；蝎头部21与蝎腹部22的一端固定连接成“T”字型；蝎腹部22的另一端与蝎尾部23固定连接成“L”字型；第一钳部24的里端和第二钳部25的里端分别与蝎头部21的两端固定连接，并且第一钳部24和第二钳部25均位于蝎头部21的背向蝎尾部23的一侧；蝎头部21的背向蝎腹部22的一面固定设置有第一蝎眼部26和第二蝎眼部27，第一蝎眼部26和第二蝎眼部27均相对于蝎头部21向背向蝎腹部22的方向突出，第一蝎眼部26和第二蝎眼部27相间设置且二者相互对称；第一蝎眼部26的末端设置有第二通孔26a，第二蝎眼部27的末端设置有第三通孔27a，第二通孔26a和第三通孔27a位于同一条直线上；蝎形件20的第一钳部24的末端和第二钳部25的末端均与所述邦头固定连接，使得蝎形件20固定连接于所述邦头上；蝎形件20的蝎尾部23设置有第二螺纹孔23a，第二螺纹孔23a的延伸方向与蝎腹部22的延伸方向一致；弹性组件30包括调节螺栓31、弹簧固定盖32、以及弹簧33；调节螺栓31包括螺杆部31a和弹簧固定座部31b；弹簧固定座部31b呈圆筒形且内部中空，弹簧固定座部31b的一端封闭且另一端开口；螺杆部31a的一端与弹簧固定座部31b的底部的外表面的中心位置固定连接；调节螺栓31的螺杆部31a的另一端的外螺纹与蝎形件20的蝎尾部23的第二螺纹孔23a的内螺纹相互啮合而实现螺纹连接；弹簧固定盖32的一面设置有一个U形的第一凹槽32a，与之相对的另一个面设置有一个圆形的凹坑32b；梁形件10的后端固定连接于弹簧固定盖32的第一凹槽32a中；弹簧33的一端固定连接于弹簧固定盖32的凹坑32b的内底面，弹簧33的另一端固定连接于调节螺栓31的弹簧固定座部31b的内底面，通过旋转调节螺栓31能够调节弹簧33的长度；梁形件10设置于蝎形件20的蝎头部21的第一蝎眼部26和第二蝎眼部27之间，销轴的两端分别套设于蝎形件20的蝎头部21的第一蝎眼部26的第二通孔26a内和第二蝎眼部27的第三通孔27a内，并且销轴被限位而不能沿着其轴线相对于第一蝎眼部26和第二蝎眼部27移动，实现梁形件10与蝎形件20的蝎头部21铰接，进而使得梁形件10和蝎形件20的蝎头部21构成一个跷跷板结构，梁形件10能够绕设置于蝎形件20的蝎头部21的第一蝎眼部26和第二蝎眼部27之间的销轴来回摆动；梁形件10的前端用于与吸嘴组件50连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海赢朔电子科技股份有限公司 用于转塔式固晶装置邦头的跷跷板式缓冲结构

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