申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司

申请日：2024-03-19

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN118213315A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/60

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.18#公开

摘要：本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的缓冲结构，包括蛙形结构单元；蛙形结构单元包括蛙形件70和第二级板簧组件；蛙形件70通过第二级板簧组件实现与所述转塔式固晶装置的吸嘴安装组件60的连接；蛙形件70包括蛙身部71、蛙头部72、第一蛙前肢73、第二蛙前肢74、第一蛙后肢75、以及第二蛙后肢76；第二级板簧组件包括第三板簧78和第四板簧79，第三板簧78和第四板簧79均呈U字形；第三板簧78的两个延伸臂的末端分别与蛙形件70的第一蛙前肢73和第二蛙前肢74固定连接；第四板簧79的两个延伸臂的末端分别与蛙形件70的第一蛙后肢75和第二蛙后肢76固定连接。所述缓冲结构能够实现吸嘴在靠近以及接触芯片时能够得以适当缓冲，进而避免吸嘴接触到芯片的瞬间芯片表面留痕或破损，甚至芯片碎裂。

主权项：1.用于转塔式固晶装置的缓冲结构，其特征在于，该缓冲结构包括蛙形结构单元；蛙形结构单元包括蛙形件70和第二级板簧组件；蛙形件70通过第二级板簧组件实现与所述转塔式固晶装置的吸嘴安装组件60的连接；蛙形件70包括蛙身部71、蛙头部72、第一蛙前肢73、第二蛙前肢74、第一蛙后肢75、以及第二蛙后肢76；蛙身部71整体呈长方形板体状，蛙身部71的相对的两个面分别为腹面和背面；第一蛙前肢73、第二蛙前肢74、第一蛙后肢75和第二蛙后肢76者均呈L形；蛙身部71的一端与蛙头部72固定连接，蛙身部71的靠近蛙头部72一端的两侧面分别固定设置有第一蛙前肢73和第二蛙前肢74，第一蛙前肢73和第二蛙前肢74对称设置成环抱状；蛙身部71的远离蛙头部72一端的两侧面分别固定设置有第一蛙后肢75和第二蛙后肢76，第一蛙后肢75和第二蛙后肢76对称设置成环抱状；第一蛙前肢73、第二蛙前肢74、第一蛙后肢75和第二蛙后肢76者均向蛙身部71的腹面一侧延伸；第二级板簧组件包括第三板簧78和第四板簧79，第三板簧78和第四板簧79均呈U字形；第三板簧78的两个延伸臂的末端分别与蛙形件70的第一蛙前肢73和第二蛙前肢74固定连接；第四板簧79的两个延伸臂的末端分别与蛙形件70的第一蛙后肢75和第二蛙后肢76固定连接；第三板簧78的封闭端和第四板簧79的封闭端均用于与所述转塔式固晶装置的吸嘴安装组件60连接；蛙形件70的蛙头部72和蛙身部71均用于与所述转塔式固晶装置的邦头连接。

全文数据：

权利要求：

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