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申请/专利权人：山东百利通亚陶科技有限公司
申请日：2023-09-27
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221133412U
主分类号：B08B5/02
分类号：B08B5/02;B08B13/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型公开了一种晶体表面微粒清洁装置，包括设置有安全门的密封罩体，所述密封罩体顶面的进风口位置设置有空气过滤器，所述密封罩体的清洁区内设置有支撑晶体的支撑部，所述密封罩体内的所述清洁区还设置有氮气喷气结构，所述氮气喷气结构设置于所述支撑部的两侧；所述密封罩体内还包括集尘区，所述集尘区设置于所述清洁区的下端，所述集尘区与所述清洁区连通设置，所述氮气喷气结构的出气端与所述晶体对应设置。本实用新型的晶体表面微粒清洁装置，采用非接触清洁，避免了晶体表面清洗液的残存，不会对晶体表面及其镀层产生影响，适用于晶体的整个加工流程中的清洁需求。
主权项：1.一种晶体表面微粒清洁装置，其特征在于，包括：设置有安全门的密封罩体；空气过滤器，设置于所述密封罩体顶面的进风口位置；用于支撑晶体的支撑部，设置于所述密封罩体的清洁区；氮气喷气结构，设置于所述密封罩体内的所述清洁区，设置于所述支撑部的两侧；所述密封罩体内还包括集尘区，所述集尘区设置于所述清洁区的下端，所述集尘区与所述清洁区连通设置，所述氮气喷气结构的出气端与所述晶体对应设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东百利通亚陶科技有限公司 晶体表面微粒清洁装置
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