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高热传导效应的半导体结构 

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申请/专利权人:广西云芯半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种高热传导效应的半导体结构,其包括自下而上依次设置的衬底层、粘合层、填平层、第一半导体层、沟道层以及第二半导体层,第一半导体层上设置有第一电极点,第二半导体层上设置有第二电极点,衬底层包括位于底层的基底基板、位于顶层的半导体基板和位于基底基板、半导体基板之间的多层导热膜,基底基板为所半导体结构提供承载力,导热膜用于将半导体基板传导的热量均匀散开,半导体基板用于传递电信号和散热。对于本实用新型上述技术方案公开的半导体结构,由于衬底层为基于导热膜形成的复合层结构,可快速将半导体基板上的热量均匀传导开来,从而避免半导体基板上的热量积聚,并有效提升衬底层的散热效率。

主权项:1.一种高热传导效应的半导体结构,其特征在于,包括自下而上依次设置的衬底层、粘合层、填平层、第一半导体层、沟道层以及第二半导体层,所述第一半导体层上设置有第一电极点,所述第二半导体层上设置有第二电极点,所述衬底层包括位于底层的基底基板、位于顶层的半导体基板和位于所述基底基板、所述半导体基板之间的多层导热膜,所述基底基板为所半导体结构提供承载力,所述导热膜用于将所述半导体基板传导的热量均匀散开,所述半导体基板用于传递电信号和散热。

全文数据:

权利要求:

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