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【发明公布】掩膜条和掩膜装置_昆山国显光电有限公司_202311369379.9 

申请/专利权人:昆山国显光电有限公司

申请日:2023-10-20

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN118207501A

主分类号:C23C14/04

分类号:C23C14/04;C23C14/24

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.18#公开

摘要:本申请公开了一种掩膜条和掩膜装置,掩膜条包括本体部,本体部包括两个连接端,两个连接端沿第一方向排列,本体部还包括蒸镀区组,蒸镀区组的数量至少为两个,蒸镀区组位于两个连接端之间,且蒸镀区组包括至少一个蒸镀区,至少部分蒸镀区的形状不同,每个蒸镀区内包括多个蒸镀开口,蒸镀区内蒸镀开口的数量密度为预设密度,沿第一方向靠近掩膜条中间位置的蒸镀区组内任意蒸镀区的预设密度大于远离中间位置的蒸镀区组内任意蒸镀区的预设密度。该掩膜条内包括不同规格的蒸镀区,且各位置受力均匀性强,张网质量佳。

主权项:1.一种掩膜条,其特征在于,包括本体部,所述本体部包括两个连接端,两个所述连接端沿第一方向排列,所述本体部还包括蒸镀区组,所述蒸镀区组的数量至少为两个,所述蒸镀区组位于两个所述连接端之间,且所述蒸镀区组包括至少一个蒸镀区,至少部分所述蒸镀区的形状不同,每个所述蒸镀区内包括多个蒸镀开口,所述蒸镀区内所述蒸镀开口的数量密度为预设密度,沿第一方向靠近所述掩膜条中间位置的所述蒸镀区组内任意蒸镀区的所述预设密度大于远离所述中间位置的所述蒸镀区组内任意蒸镀区的所述预设密度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 昆山国显光电有限公司 掩膜条和掩膜装置

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