申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司

申请日：2022-05-24

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN114934254B

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2022.09.09#实质审查的生效;2022.08.23#公开

摘要：本申请实施例提供了一种掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板，掩膜版组件应用于制作显示面板母板，显示面板母板包括多个显示面板，掩膜版组件包括开口掩膜版，开口掩膜版包括第一框架和第一主体部，第一主体部与第一框架固定连接，第一主体部包括相互平行设置的多个第一掩膜条，以及相互平行设置的多个第二掩膜条，多个第一掩膜条及多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区，多个第一开口区用于与多个显示面板中的显示区对应设置。本申请实施例提供的掩膜版组件、掩膜版组件的制作方法及显示面板，可以减小显示面板的边框尺寸，提高显示面板的屏占比。

主权项：1.一种掩膜版组件的制作方法，其特征在于，用于制作掩膜版组件，所述掩膜版组件应用于制作显示面板母板，所述显示面板母板包括多个显示面板，所述掩膜版组件包括开口掩膜版和阴极掩膜版，所述开口掩膜版与所述阴极掩膜版固定连接，所述开口掩膜版包括：第一框架；第一主体部，所述第一主体部与所述第一框架固定连接，所述第一主体部包括相互平行设置的多个第一掩膜条，以及相互平行设置的多个第二掩膜条，所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区，所述多个第一开口区用于与所述多个显示面板中的显示区对应设置，所述第一掩膜条及所述第二掩膜条在张网拉伸前呈曲线状；所述阴极掩膜版包括：第二框架；第二主体部，所述第二主体部与所述第二框架固定连接，所述第二主体部包括相互平行设置的多个第三掩膜条，以及相互平行设置的多个第四掩膜条，所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区，沿垂直于所述开口掩膜版的方向上，所述多个第一开口区的正投影落入所述多个第二开口区的正投影内，所述第三掩膜条及所述第四掩膜条在张网拉伸前呈曲线状；所述方法包括：提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条，所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条呈曲线状，对张网拉伸前的所述开口掩膜版进行非线性补偿，所述开口掩膜版长边方向上的不同区域及短边方向上的不同区域分别设置不同的补偿值，使张网拉伸前的所述第一主体部呈内部凹陷状，不同位置的补偿值根据所述开口掩膜版张网拉伸过程中不同位置的变形量设定，所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条交叉设置；提供一第一框架；对所述多个第一掩膜条及所述多个第二掩膜条进行张网拉伸，张网拉伸后的所述第一掩膜条及所述第二掩膜条呈直线状，以降低所述开口掩膜版在张网拉伸过程中，变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值，并连接所述多个第一掩膜条与所述第一框架，以及连接所述多个第二掩膜条与所述第一框架，得到开口掩膜版，张网拉伸后的所述多个第一掩膜条相互平行设置，张网拉伸后的所述多个第二掩膜条相互平行设置，张网拉伸后的所述多个第一掩膜条及张网拉伸后的所述多个第二掩膜条交叉设置并限定出多个第一开口区，所述多个第一开口区用于与所述多个显示面板中的显示区对应设置；提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条，所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条呈曲线状，使张网拉伸前的所述第二主体部呈内部凹陷状；所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条交叉设置；提供一第二框架；对所述多个第三掩膜条及所述多个第四掩膜条进行张网拉伸，张网拉伸后的所述第三掩膜条及所述第四掩膜条呈直线状，以降低所述阴极掩膜版在张网拉伸过程中，变形程度最大的区域的变形量与变形程度最小的区域的变形量之间的差值，并连接所述多个第三掩膜条与所述第二框架，以及连接所述多个第四掩膜条与所述第二框架，得到阴极掩膜版，张网拉伸后的所述多个第三掩膜条相互平行设置，张网拉伸后的所述多个第四掩膜条相互平行设置，张网拉伸后的所述多个第三掩膜条及张网拉伸后的所述多个第四掩膜条交叉设置并限定出多个第二开口区，沿垂直于所述开口掩膜版的方向上，所述多个第一开口区的正投影落入所述多个第二开口区的正投影内；提供一阴极掩膜版，固定连接所述阴极掩膜版及所述开口掩膜版得到所述掩膜版组件；所述提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条的步骤，包括：提供多个第一掩膜条及多个第二掩膜条，针对每一第一掩膜条及第二掩膜条，对所述第一掩膜条及所述第二掩膜条进行非线性补偿使所述第一掩膜条及所述第二掩膜条呈曲线状；所述提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条的步骤，包括：提供多个第三掩膜条及多个第四掩膜条，针对每一第三掩膜条及第四掩膜条，对所述第三掩膜条及所述第四掩膜条进行非线性补偿使所述第三掩膜条及所述第四掩膜条呈曲线状。

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