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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日：2024-03-21
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118209843A
主分类号：G01R31/28
分类号：G01R31/28;G01R31/26
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本发明提供一种减小两端电阻测试误差的装置，包括待测试晶圆，待测试晶圆上设置有测试键，测试键上包括测试结构以及测试衬垫，测试衬垫为测试结构的电引出结构；WAT测试机台，用于对晶圆的测试键上的各测试结构进行WAT测试；控制模块，用于实现：建立测试条件及算法：对电阻值小于预设值的目标测试结构两端电阻进行测试n次，输出n次测试结果中最小的一个电阻值，其中n大于等于2；建立n支验证的程式，其中第n支程式对目标测试结构两端电阻分别采用n次测试，并输出测试结果中最小的一个电阻值；利用n支验证的程式将多个待测试晶圆在WAT机台上进行测试，获取n组测试数据。本发明能够改善两端法电阻因寄生电阻造成的测试跳点问题。
主权项：1.一种减小两端电阻测试误差的装置，其特征在于，包括：待测试晶圆，待测试晶圆上设置有测试键，测试键上包括测试结构以及测试衬垫，测试衬垫为测试结构的电引出结构；WAT测试机台，用于对晶圆的测试键上的各测试结构进行WAT测试；控制模块，用于实现：建立测试条件及算法：对电阻值小于预设值的目标测试结构两端电阻进行测试n次，输出n次测试结果中最小的一个电阻值，其中n大于等于2；建立n支验证的程式，其中第n支程式对目标测试结构两端电阻分别采用n次测试，并输出测试结果中最小的一个电阻值；利用n支验证的程式将多个待测试晶圆在WAT机台上进行测试，获取n组测试数据；将n组测试数据进行分析比对，以电阻值标准差最小的验证的程式方案为较佳测试方案。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 减小两端电阻测试误差的装置和方法
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