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【发明公布】一种提拉法小型晶体生长装置_合肥科晶材料技术有限公司_202410345536.0 

申请/专利权人:合肥科晶材料技术有限公司

申请日:2024-03-25

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN118207618A

主分类号:C30B15/00

分类号:C30B15/00;C30B15/14;C30B15/20;C30B27/02

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.18#公开

摘要:本发明公开了一种提拉法小型晶体生长装置,采用分体式的第一密封组件和第二密封组件,并将坩埚设置在第二密封组件上,第二密封组件可在第一直线模组的驱动下与第一密封组件对接分离,通过在第一密封组件外侧套设有加热炉,当第二密封组件与第一密封组件对接后对第一密封组件和第二密封组件进行加热,将坩埚中的晶体物料加热熔化,并且加热炉可在第二直线模组的驱动下沿第一密封组件和第二密封组件的轴向移动,从而在晶体物料生长后向上提拉过程中跟随移动,降低晶体物料周围温度的变化速率,有利于晶体的成长,提高成品率。

主权项:1.一种提拉法小型晶体生长装置,其特征在于,包括:炉架1、沿竖直方向固定安装在炉架1上的第一密封组件2、位于第一密封组件2下方并与第一密封组件2相互配合的第二密封组件3以及固定安装在第二密封组件3内用于盛放晶体物料的坩埚4;第二密封组件3通过第一直线模组5安装在炉架1上,以在第一直线模组5的驱动下沿竖直方向移动,与第一密封组件2对接分离;第一密封组件2外侧套设有加热炉6,以在第二密封组件3与第一密封组件2对接后对第一密封组件2和第二密封组件3进行加热,将坩埚4中的晶体物料加热熔化,加热炉6通过第二直线模组7安装在炉架1上,以在第二直线模组7的驱动下沿第一密封组件2和第二密封组件3的轴向移动,降低晶体物料生长后向上提拉过程中晶体物料周围温度的变化速率。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 合肥科晶材料技术有限公司 一种提拉法小型晶体生长装置

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