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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118215385A
主分类号：H10N52/01
分类号：H10N52/01;H10N52/80
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本公开提供了一种制造自旋霍尔振荡器件的方法及自旋霍尔振荡器件，可以应用于自旋电子技术领域。该方法包括：在衬底上沿竖直方向依次设置重金属层、自由层、间隔层、参考层和钉扎层，得到叠层；图形化叠层；对图形化后的叠层进行退火操作，以使自由层的磁化易轴方向与电流方向的夹角为θ°，参考层的磁化易轴方向与电流方向平行，其中，电流方向与竖直方向垂直，0＜θ＜90。
主权项：1.一种制造自旋霍尔振荡器件的方法，包括；在衬底上沿竖直方向依次设置重金属层、自由层、间隔层、参考层和钉扎层，得到叠层；图形化所述叠层；对图形化后的叠层进行退火操作，以使所述自由层的磁化易轴方向与电流方向的夹角为θ°，所述参考层的磁化易轴方向与所述电流方向平行，其中，所述电流方向与所述竖直方向垂直，0＜θ＜90。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 制造自旋霍尔振荡器件的方法及自旋霍尔振荡器件
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