申请/专利权人：乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司

申请日：2023-05-17

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN116587311B

主分类号：B25J15/06

分类号：B25J15/06;H01L21/683;H01L21/67;H01L21/677;B25J18/04;B25J18/02;B25J9/16;B25J11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2023.09.01#实质审查的生效;2023.08.15#公开

摘要：本发明提供了一种连杆式单臂双手指真空机械手及真空腔室，其中，真空机械手包括：下手臂主动连杆；下手臂被动连杆，与下手臂主动连杆通过第一轴承连接；上手臂主动连杆；上手臂被动连杆，与上手臂主动连杆通过第二轴承连接；手臂横向杆，一端与下手臂被动连杆通过第三轴承连接，另一端与上手臂被动连杆通过第四轴承连接；手臂横向杆具有两个伸出部，分别连接有第一手指和第二手指；第一驱动单元，连接于下手臂主动连杆，用于使下手臂主动连杆带动下手臂被动连杆进行伸缩运动；第二驱动单元，连接于上手臂主动连杆，用于使下手臂主动连杆带动下手臂被动连杆进行伸缩运动；第三驱动单元，用于驱动整体进行旋转运动。

主权项：1.一种连杆式单臂双手指真空机械手，其特征在于，包括：下手臂主动连杆；下手臂被动连杆，与所述下手臂主动连杆通过第一轴承连接；上手臂主动连杆；上手臂被动连杆，与所述上手臂主动连杆通过第二轴承连接；手臂横向杆，一端与所述下手臂被动连杆通过第三轴承连接，另一端与所述上手臂被动连杆通过第四轴承连接；所述手臂横向杆具有两个伸出部，分别连接有第一手指和第二手指，所述第一手指和所述第二手指均用于承载晶圆；第一驱动单元，连接于所述下手臂主动连杆，用于使所述下手臂主动连杆带动所述下手臂被动连杆进行伸缩运动；第二驱动单元，连接于所述上手臂主动连杆，用于使所述下手臂主动连杆带动所述下手臂被动连杆进行伸缩运动；第三驱动单元，连接于所述下手臂主动连杆和所述上手臂主动连杆整体，用于驱动所述整体进行旋转运动;所述第一驱动单元包括相互配合的第一定子线圈和第一转子，所述第一转子环绕于所述第一定子线圈的外周；所述第一转子通过第一连接件与所述下手臂主动连杆连接；所述第二驱动单元包括相互配合的第二定子线圈和第二转子，所述第二转子环绕于所述第二定子线圈的外周；所述第二转子通过第二连接件与所述上手臂主动连杆连接；所述第三驱动单元包括相互配合的第三定子线圈和第三转子；且所述第三转子环绕于所述第三定子线圈的外周；所述第三转子通过第三连接件与所述连杆机构整体连接；所述下手臂主动连杆和所述上手臂主动连杆长度一致，且所述下手臂被动连杆和所述上手臂被动连杆长度一致。

全文数据：

权利要求：

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