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申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日：2020-09-10
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN112490139B
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66;H01L21/60
优先权：["20190912 EP 19196904.7"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2021.03.30#实质审查的生效;2021.03.12#公开
摘要：一种用于在两个连接配对件10、20之间形成连接的方法包括：在第一连接配对件10的第一表面上形成预连接层32，其中，预连接层32包括一定量的液体；执行预连接过程，从而从预连接层32去除液体；在执行预连接过程的同时执行光度测量，其中，执行光度测量包括确定预连接层32的至少一个光度参数，其中，至少一个光度参数根据预连接层32的流体含量而改变；以及不断地评估至少一个光度参数，其中，当检测到至少一个光度参数在期望的范围内时，终止预连接过程。
主权项：1.一种用于在两个连接配对件10、20之间形成连接的方法，所述方法包括：在第一连接配对件10的第一表面上形成预连接层32，其中，所述预连接层32包括一定量的液体；以及在将第二连接配对件20布置在所述预连接层32上之前：执行预连接过程，从而从所述预连接层32去除液体；在执行所述预连接过程的同时执行光度测量，其中，执行所述光度测量包括确定所述预连接层32的至少一个光度参数，其中，所述至少一个光度参数根据所述预连接层32的流体含量而改变；以及不断地评估所述至少一个光度参数，其中，当检测到所述至少一个光度参数在期望的范围内时，终止所述预连接过程。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 用于在两个连接配对件之间形成连接的方法和用于监测连接过程的方法
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