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申请/专利权人：测量专业股份有限公司
摘要：一种压力传感器系统，包括在小型、空间有效的封装中的压力传感器管芯100和其他部件530，其中封装允许气体或液体到达压力传感器管芯100的膜110的一侧或两侧。封装可包括基板200和盖300，基板200和盖300中的一个或两个将封装内部分成两个腔室。基板可具有实心底层238、在层的部分长度上延伸的狭槽或路径211的中间层236和允许触达狭槽或路径211的两个通孔214，218的顶层234。盖300可具有两个端口320，330。第一端口320可通向第一腔室312，压力传感器100的顶侧位于第一腔室314中。第二端口330可通向第二腔室314和狭槽或路径211，狭槽或路径211通向压力传感器100的底侧。
主权项：1.一种压力传感器系统，包括：基板200，260，其包括多层并且具有通道210、270，该通道210、270包括：第一通孔214，其在基板200、260的第一层234中；第二通孔218，其在基板200、260中；和路径211、271，其在基板200，260的第二层236中，并且将第一通孔214连接到第二通孔218；压力传感器管芯100，其在第一通孔214上方附接到基板200、260的第一层234；和盖300，其在压力传感器管芯100上方，并附接到基板200、260，所述盖300具有第一端口和第二端口，其中，所述盖300和基板200、260形成压力传感器系统中的第一腔室312和第二腔室314，并且第一端口提供去往第一腔室312中的第一路径211、271，第二端口提供去往第二腔室314中的第二路径211、271；其中，所述盖300的底表面包括凹槽，所述凹槽对应于所述基板200、260的凸起的肋230，所述凸起的肋230允许所述盖300以榫槽方式附接到所述基板200、260，并且所述凸起的肋230将所述第一腔室312与所述第二腔室314分开。
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