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申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：本公开涉及一种MEMS气体传感器10，其尤其包括光声传感器10，光声传感器10包括热发射器16和声换能器17，热发射器16和声换能器17布置在相互测量腔18内。热发射器16包括半导体衬底11和由半导体衬底11支撑的加热结构12。加热结构12包括加热元件13。MEMS气体传感器10还包括热耦合到加热元件13的化学传感器14，化学传感器14包括气体吸附层15。
主权项：1.一种MEMS气体传感器（100），包括：光声传感器（10），包括热发射器（16）和声换能器（17），所述热发射器（16）和所述声换能器（17）被布置在相互测量腔（18）内，其中所述热发射器（16）包括半导体衬底（11）和由所述半导体衬底（11）支撑的加热结构（12），所述加热结构（12）包括加热元件（13）；以及化学传感器（14），被热耦合到所述加热元件（13），所述化学传感器（14）包括气体吸附层（15）,其中所述热发射器（16）包括预定温度曲线（30），所述加热元件（13）被配置为根据所述预定温度曲线（30）将所述热发射器（16）的第一部分（A1）加热到第一温度（T1）并且将热发射器（16）的第二部分（A2）加热到低于所述第一温度（T1）的第二温度（T2），其中所述吸附层（15）被布置在所述热发射器（16）的所述第二部分（A2）处，所述热发射器（16）被配置为发射用于操作所述光声传感器（10）的第一温度范围（ΔT1）的红外辐射，并且发射用于操作所述化学传感器（14）的第二温度范围（∆T2）的热量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 MEMS气体传感器
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