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申请/专利权人：苏州维创特自动化科技有限公司
申请日：2023-10-17
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221176184U
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型涉及插片机领域，尤其是自动插片机。该插片机包括槽体、硅片夹具、水平移动机构、起片机构、硅片水平传送机构、工业相机、入篮机构、工装篮，所述槽体、用于将硅片逐一从工装篮内取出至硅片水平传送机构上的起片机构、用于将硅片逐一送入硅片篮内的硅片水平传送机构、控制硅片篮升降的入篮机构依次排列在一起，槽体内安装有用于驱使工装篮进行水平直线移动的水平移动机构。本实用新型通过硅片夹具将硅片夹持在工装篮内。通过水平移动机构来水平移动工装篮。通过起片机构将工装篮内的硅片逐一提送至硅片水平传送机构上，再配合工装篮将硅片逐一装入硅片篮内。本申请能够保持硅片夹持的稳定性，并简化了结构，节约了成本。
主权项：1.一种自动插片机，其特征是，包括槽体（1）、硅片夹具（2）、水平移动机构（3）、起片机构（4）、硅片水平传送机构（5）、工业相机、入篮机构（7）、工装篮（8），所述槽体（1）、用于将硅片逐一从工装篮（8）内取出至硅片水平传送机构（5）上的起片机构（4）、用于将硅片逐一送入硅片篮内的硅片水平传送机构（5）、控制硅片篮升降的入篮机构（7）依次排列在一起，硅片水平传送机构（5）上方设有工业相机，槽体（1）内安装有用于驱使工装篮（8）进行水平直线移动的水平移动机构（3），工装篮（8）上安装有用于夹持硅片的硅片夹具（2）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州维创特自动化科技有限公司 自动插片机
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