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【发明公布】一种基于Herriott型多通腔的新型超快激光微纳加工装置_中国科学院上海光学精密机械研究所_202410365447.2 

申请/专利权人:中国科学院上海光学精密机械研究所

申请日:2024-03-28

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN118218751A

主分类号:B23K26/00

分类号:B23K26/00;B23K26/064;B23K26/0622

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.21#公开

摘要:一种基于种基于Herriott型多通腔的新型超快激光微纳加工装置,采用皮秒激光作为前级光源,经过薄膜偏振片后分为垂直偏振光与水平偏振光。垂直偏振光经过透镜组进行模式匹配,经过模式匹配后的皮秒光进入MPC腔内,往返多次经过克尔介质材料光谱被展宽,展宽后的激光进入色散补偿元件压缩脉宽,得到飞秒脉冲。飞秒光与皮秒水平偏振光合束后同时出射,出射后的混合光具有高度空间重合度和极小的发散度。本发明装置能够有效解决传统微纳加工领域皮秒激光加工质量下降以及飞秒激光光致电离导致的材料损伤问题,能够综合提高加工质量。

主权项:1.一种基于Herriott型多通腔的超快激光微纳加工装置,其特征在于,包括皮秒前级光源1、第一薄膜偏振片2a、第二薄膜偏振片2b、模式匹配透镜组3、MPC4和压缩器5;所述的皮秒前级光源1产生一束高功率皮秒脉冲,经过第一薄膜偏振片2a分为一束垂直偏振光和一束水平偏振光;所述的水平偏振光经第二薄膜偏振片2b透射;所述的垂直偏振光入射至模式匹配透镜组3进行模式匹配,得到与MPC腔本征模式对应的光斑;经模式匹配后的皮秒脉冲射入MPC4内,经自相位调制效应光谱被展宽后,经压缩器5压缩后形成飞秒脉冲,经第二薄膜偏振片2b反射后,与经第二薄膜偏振片2b透射后的水平偏振光合束,形成皮秒与飞秒混合脉冲出射激光。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种基于Herriott型多通腔的新型超快激光微纳加工装置

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