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【发明公布】半导体器件的建模方法、装置和设备_中国科学院微电子研究所_202410445874.1 

申请/专利权人:中国科学院微电子研究所

申请日:2024-04-12

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN118228653A

主分类号:G06F30/3308

分类号:G06F30/3308;G06F119/08

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.21#公开

摘要:本发明公开半导体器件的建模方法、装置和设备,涉及半导体物理技术领域,以解决现有技术中漏电模型的模型精度低的问题。本发明公开的半导体器件的建模方法,包括:在不同温度环境下对半导体器件进行数据测试,获得预设温度范围内的器件测试数据;所述器件测试数据至少包括漏电流数据;基于所述漏电流数据与温度之间的关系,构建漏电参数的初始漏电高温模型;将所述初始漏电高温模型与所述漏电流数据进行拟合,调整初始漏电高温模型的模型参数,得到所述半导体器件的目标漏电高温模型。

主权项:1.一种半导体器件的建模方法,其特征在于,包括:在不同温度环境下对半导体器件进行数据测试,获得预设温度范围内的器件测试数据;所述器件测试数据至少包括漏电流数据;基于所述漏电流数据与温度之间的关系,构建漏电参数的初始漏电高温模型;将所述初始漏电高温模型与所述漏电流数据进行拟合,调整所述初始漏电高温模型的模型参数,得到所述半导体器件的目标漏电高温模型。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院微电子研究所 半导体器件的建模方法、装置和设备

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