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申请/专利权人：上海岚玥新材料科技有限公司
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192314U
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44;C23C16/26;C23C16/458;C23C16/455
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种热解石墨加热沉积装置，包括升降台、转动盘和支撑座。该热解石墨加热沉积装置，升降台的顶面转动连接有转动盘，升降台的底面固定安装有电机，转动盘的顶面且位于连通口的外侧设有导气管，转动盘的顶面且位于导气管的外侧固定连接有支撑座，支撑座的顶部设有台阶，台阶上设有与其相适配的基体，支撑座的底部圆周开设有连通孔，炉盖上贯穿固定连接有出气管，升降台的底面对称开设有两个进气口，通过电机驱动转动盘转动，从而带动位于支撑座上方的基体旋转，从而方便基体均匀的与流通的混合气体接触，通过基体本身的旋转，从而有效的避免气体流动并不受控制，气体与基体的接触不均匀的问题。
主权项：1.一种热解石墨加热沉积装置，包括热解石墨加热沉积炉1，其特征在于：所述热解石墨加热沉积炉1的底部固定连接有支撑箱2，热解石墨加热沉积炉1的顶部盖设有炉盖3，热解石墨加热沉积炉1的一部设有开口4，开口4处设有与其相适配的升降台5，升降台5的顶面转动连接有转动盘6，升降台5的底面固定安装有电机7，电机7的输出端贯穿升降台5与转动盘6固定连接，升降台5的内部设混合腔9，升降台5和转动盘6上均开设有连通口11，连通口11与混合腔9连通，转动盘6的顶面且位于连通口11的外侧设有导气管12，转动盘6的顶面且位于导气管12的外侧固定连接有支撑座14，支撑座14的顶部设有台阶，台阶上设有与其相适配的基体15，支撑座14的底部圆周开设有连通孔19，炉盖3上贯穿固定连接有出气管20，升降台5的底面对称开设有两个进气口，进气口处固定连接有进气管27。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海岚玥新材料科技有限公司 一种热解石墨加热沉积装置
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