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申请/专利权人：浙江创芯集成电路有限公司
申请日：2024-05-29
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248602A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;G06K17/00;G06Q50/04
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：一种生产加工信息录入方法及装置、存储介质、设备。所述方法包括：采集待加工晶圆的加工相关信息；基于所采集的加工相关信息得到对应的二维码图形；扫描所述二维码图形，得到对应的生产加工信息，所述生产加工信息用于录入至所述生产操作系统中，以指导所述生产操作系统对所述待加工晶圆的生产操作。采用上述方案，可以提高生产加工信息的录入效率，以降低晶圆受损概率。
主权项：1.一种生产加工信息录入方法，其特征在于，包括：采集待加工晶圆的加工相关信息，所述加工相关信息包括：待加工晶圆的标识信息，以及每一片晶圆需要执行的工艺流程信息；基于所采集的加工相关信息得到对应的二维码图形，所述二维码图形中包括：各工艺流程信息，以及各工艺流程信息对应的待加工晶圆标识信息，其中至少两个以上待加工晶圆的工艺流程不同；扫描所述二维码图形，得到对应的生产加工信息，所述生产加工信息用于录入至生产操作系统中，以指导所述生产操作系统对所述待加工晶圆的生产操作；所述基于所采集的加工相关信息得到对应的二维码图形，包括：对所采集的加工相关信息进行识别；对识别得到的信息进行核实；基于核实结果，得到所述生产加工信息；将所述生产加工信息集成到二维码上，得到对应的二维码图形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江创芯集成电路有限公司 生产加工信息录入方法及装置、存储介质、设备
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