申请/专利权人:之江实验室
申请日:2024-04-11
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118244589A
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20;G03F7/00
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本发明涉及一种激光直写装置及激光直写方法,在光路传播方向上依次包括激光器、偏振相位联合调制模块和扫描直写模块,其中,所述偏振相位联合调制模块在光路传播方向上依次包括第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、涡旋波片和螺旋相位片。
主权项:1.一种激光直写装置,其特征在于,在光路传播方向上依次包括激光器1、偏振相位联合调制模块和扫描直写模块,其中,所述偏振相位联合调制模块在光路传播方向上依次包括第一半波片31、偏振分光棱镜32、第二半波片33、涡旋波片35和螺旋相位片36。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 之江实验室 一种激光直写装置及激光直写方法
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