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申请/专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日：2022-12-23
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118241205A
主分类号：C23C28/04
分类号：C23C28/04;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/04;C23C14/04;C23C14/06;C23C14/35
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明焊锡管道的镀膜方法，包括：对管道进行离子清洗：向真空镀膜室通入氩气使所述真空镀膜室处于第一气压下，开启离子源电源及偏压电源对所述管道进行离子体轰击；在所述管道的外壁形成DLC层：向所述真空镀膜室通入C2H2气体使所述真空镀膜室处于第二气压下，沉积形成DLC层，所述DLC层的热导率被配置为大于1000WmK；以及在所述管道的内壁形成含钛的DLC复合层。本发明使得焊锡管道具有良好导热能力以提供其使用寿命，且焊锡管道的内壁光滑，锡液难以附着其上，使得管道易于清洗。
主权项：1.一种焊锡管道的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：对管道进行离子清洗：向真空镀膜室通入氩气使所述真空镀膜室处于第一气压下，开启离子源电源及偏压电源对所述管道进行离子体轰击；在所述管道的外壁形成DLC层：向所述真空镀膜室通入C2H2气体使所述真空镀膜室处于第二气压下，沉积形成DLC层，所述DLC层的热导率被配置为大于1000WmK；以及在所述管道的内壁形成含钛的DLC复合层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞新科技术研究开发有限公司 焊锡管道的镀膜方法
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