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含氢氟酸水的处理装置以及含氢氟酸水的处理方法 

申请/专利权人:奥加诺株式会社

申请日:2023-11-28

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118239564A

主分类号:C02F1/42

分类号:C02F1/42;C02F1/00;C02F101/14

优先权:["20221223 JP 2022-206274"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明提供在处理含氢氟酸水时能抑制因过滤材料的溶解所致的过滤材料的减少、且使装置稳定地运转的含氢氟酸水的处理装置。pH小于4的含氢氟酸水的处理装置1具有填充有过滤材料的过滤装置12以及配置于过滤装置12的后级且填充有离子交换体的去离子装置16,所述过滤材料由合成树脂制过滤材料构成,或由合成树脂制过滤材料与碳系过滤材料的组合构成,或由碳系过滤材料构成。

主权项:1.一种含氢氟酸水的处理装置,是pH小于4的含氢氟酸水的处理装置,其特征在于,所述含氢氟酸水的处理装置具有:过滤装置,其填充有过滤材料;以及去离子装置,其配置于所述过滤装置的后级,且填充有离子交换体,所述过滤材料由合成树脂制过滤材料构成。

全文数据:

权利要求:

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