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申请/专利权人：宁波大学;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;南方科技大学
申请日：2023-12-13
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263342A
主分类号：H01L31/028
分类号：H01L31/028;H01L31/0288;H01L31/0352;H01L31/102;H01L31/18;G01J5/10;C23C16/50;C23C16/26
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供了一种红外探测薄膜、制备方法及探测器，包括衬底层、三维石墨烯层和N掺杂三维石墨烯层，三维石墨烯层和N掺杂三维石墨烯层层叠于所述衬底层上。三维石墨烯层不仅电学性能优异，其独特的形貌使其具有极强的捕光效应，促进了其在近红外区域的光吸收，保证了其形成的光生载流子被有效激发，实现了光电子的快速输运。N掺杂三维石墨烯层中氮将三维石墨烯调制成n型，氮原子提供的电子将石墨烯费米能级转移到价带，提供n型非本征电导率。通过提高石墨烯与Si基底界面势垒，有效减低暗电流，潜在地提升光电探测器的探测率。
主权项：1.一种红外探测薄膜，其特征在于，包括衬底层、若干三维石墨烯层和若干N掺杂三维石墨烯层，三维石墨烯层和N掺杂三维石墨烯层层叠于所述衬底层上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波大学;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;南方科技大学 一种红外探测薄膜、制备方法及探测器
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