申请/专利权人：同济大学

申请日：2023-11-21

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN117723268B

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02;G01J11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明涉及一种基于光学斩波器的激光抖动校准测量装置及方法，装置包括He‑Ne激光器、光学斩波器、光束质量分析仪、光电二极管、示波器和数字信号延时发生器，He‑Ne激光器发射出连续激光形成光路，光路上依次设有光学斩波器和光束质量分析仪，示波器与光电二极管相连，光电二极管朝向光束质量分析仪，示波器和数字信号延时发生器连接；激光穿过光学斩波器形成脉冲激光，示波器与数字信号延时发生器协同实现信号触发同步，脉冲激光照射在光束质量分析仪上成像光斑，基于光斑数据计算，得到激光抖动性参数。与现有技术相比，本发明光斑信号触发同步，可获得不同脉宽频率的激光，可获得与连续激光一致的测量结果，实现系统抖动测量与校准。

主权项：1.一种基于光学斩波器的激光抖动校准测量装置，其特征在于，包括He-Ne激光器、光学斩波器、光束质量分析仪、光电二极管、示波器和数字信号延时发生器，所述He-Ne激光器发射出连续激光形成光路，所述光路上依次设有光学斩波器和光束质量分析仪，所述示波器与光电二极管相连接，所述光电二极管朝向光束质量分析仪，所述数字信号延时发生器和示波器、光束质量分析仪分别相连；所述激光穿过光学斩波器形成脉冲激光，所述脉冲激光照射在光束质量分析仪上形成成像光斑，采集光斑数据，基于光斑数据进行分析计算，得到激光的抖动性参数，所述示波器与数字信号延时发生器辅助光束质量分析仪实现信号触发同步；所述光束质量分析仪包含接收器和处理器，所述接收器与处理器和数字信号延时发生器分别连接；所述处理器包括数据采集模块、存储模块和计算模块，所述数据采集模块收集光斑数据，所述存储模块连接数据采集模块，存储数据采集模块收集到的光斑数据，所述计算模块连接存储模块，通过光斑数据计算激光的抖动性参数；所述光束质量分析仪前安装有衰减片，所述光路通过衰减片；所述光束质量分析仪包括光斑位置稳定性与抖动性测量模块，所述光斑位置稳定性与抖动性测量模块连接处理器；所述光斑数据包括光斑形貌、质心坐标、光斑尺寸和光斑位置稳定性；所述数字信号延时发生器包括多个触发端口，各个触发端口均设有不同的频率信号；所述脉冲激光垂直入射光束质量分析仪接收器的中心位置；所述激光抖动校准测量装置的激光系统抖动校准方法，包括如下步骤：步骤1、使用He-Ne激光器发出连续激光；步骤2、设置光学斩波器控制器的脉宽频率，将连续激光调制为脉冲激光；步骤3、测定脉冲激光的频率；步骤4、连接示波器、光电二极管、光束质量分析仪和数字信号延迟发生器，实时监测脉冲激光束频率；步骤5、调试光束质量分析仪的外触发延迟与设置数字信号延迟发生器的延迟时间；步骤6、验证数字信号延时发生器的延迟时间、光束质量分析仪的曝光时间与脉冲激光的频率相匹配，实现光斑信号触发同步，使得光斑实时并持续显示，并记录光斑数据；步骤7、根据光斑数据，分析计算调制后脉冲激光的光斑位置稳定性与抖动性。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 同济大学 一种基于光学斩波器的激光抖动校准测量装置及方法

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