申请/专利权人：芯米(厦门)半导体设备有限公司

申请日：2020-06-23

公开（公告）日：2024-07-09

公开（公告）号：CN111710629B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.09#授权;2020.10.27#实质审查的生效;2020.09.25#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆对中机构，包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件，本发明通过优化设置了调控组件，利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置，使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动，结构简单，高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，使用效果好；通过优化设置了遮控组环件，简易的第一半环、阻隔环片配合结构在L架片被带动转动，能够利用简易的第一半环、第二半环配合阻隔局部光源向上传递，内部配合结构配合效果好。

主权项：1.一种晶圆对中机构，包括网板1、对中台2、中心孔3、底圆盘4、安装盒5、转动盘6、控制把7和按键板8，所述网板1嵌入安装于安装盒5右侧面上，所述对中台2中心贯穿设有中心孔3，所述对中台2底端紧固安装于底圆盘4上，所述安装盒5侧面上转动安装有转动盘6，所述转动盘6上紧固安装有控制把7，所述按键板8嵌套于安装盒5侧面上；其特征在于：还包括调控组件9，所述调控组件9装设于安装盒5内部，所述调控组件9包括架板901、传递杆902、斜杆903、壳体904、遮控组环件905、三角板906、探测灯907、弹簧908、方板909、粗杆910和灯路板911，所述架板901上滑动安装有所述传递杆902，所述传递杆902左侧与所述转动盘6紧固连接，所述斜杆903与所述三角板906铰链连接，所述遮控组环件905与所述架板901转动连接，所述探测灯907嵌套于所述灯路板911左侧，所述弹簧908与所述方板909弹性连接，所述方板909与所述粗杆910铰链连接；所述遮控组环件905包括L架片9051、第一半环9052和第二半环9054，所述L架片9051插接固定于第一半环9052外侧端，所述第一半环9052与第二半环9054结构相同；所述遮控组环件905还包括阻隔环片9053，所述第一半环9052内侧粘结安装有所述阻隔环片9053，所述阻隔环片9053中心与中心孔3竖直相对应；所述弹簧908共设有两个，并且架设安装于壳体904内壁上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯米(厦门)半导体设备有限公司 一种晶圆对中机构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD