申请/专利权人:芯米(厦门)半导体设备有限公司
申请日:2020-06-23
公开(公告)日:2024-07-09
公开(公告)号:CN111710629B
主分类号:H01L21/67
分类号:H01L21/67;H01L21/68
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.07.09#授权;2020.10.27#实质审查的生效;2020.09.25#公开
摘要:本发明公开了一种晶圆对中机构,包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件,本发明通过优化设置了调控组件,利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置,使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动,结构简单,高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径,使用效果好;通过优化设置了遮控组环件,简易的第一半环、阻隔环片配合结构在L架片被带动转动,能够利用简易的第一半环、第二半环配合阻隔局部光源向上传递,内部配合结构配合效果好。
主权项:1.一种晶圆对中机构,包括网板1、对中台2、中心孔3、底圆盘4、安装盒5、转动盘6、控制把7和按键板8,所述网板1嵌入安装于安装盒5右侧面上,所述对中台2中心贯穿设有中心孔3,所述对中台2底端紧固安装于底圆盘4上,所述安装盒5侧面上转动安装有转动盘6,所述转动盘6上紧固安装有控制把7,所述按键板8嵌套于安装盒5侧面上;其特征在于:还包括调控组件9,所述调控组件9装设于安装盒5内部,所述调控组件9包括架板901、传递杆902、斜杆903、壳体904、遮控组环件905、三角板906、探测灯907、弹簧908、方板909、粗杆910和灯路板911,所述架板901上滑动安装有所述传递杆902,所述传递杆902左侧与所述转动盘6紧固连接,所述斜杆903与所述三角板906铰链连接,所述遮控组环件905与所述架板901转动连接,所述探测灯907嵌套于所述灯路板911左侧,所述弹簧908与所述方板909弹性连接,所述方板909与所述粗杆910铰链连接;所述遮控组环件905包括L架片9051、第一半环9052和第二半环9054,所述L架片9051插接固定于第一半环9052外侧端,所述第一半环9052与第二半环9054结构相同;所述遮控组环件905还包括阻隔环片9053,所述第一半环9052内侧粘结安装有所述阻隔环片9053,所述阻隔环片9053中心与中心孔3竖直相对应;所述弹簧908共设有两个,并且架设安装于壳体904内壁上。
全文数据:
权利要求:
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