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申请/专利权人：国际商业机器公司
摘要：本发明的方面包括一种晶片测试装置，其具有保形层压件和从该层压件延伸以形成与被测微电路的电连接的刚性探针。晶片测试装置还包括在与刚性探针从其延伸的一侧相对的层压件的一侧上的弹簧板。弹簧板包括保形内框架和刚性外框架。该层压件附着到弹簧板的内框架。
主权项：1.一种晶片测试装置，包括：保形层压件；刚性探针，所述刚性探针从所述层压件延伸并且被配置为与被测微电路形成电连接；以及弹簧板，所述弹簧板在所述层压件的与所述刚性探针从其延伸的一侧相对的一侧上，所述弹簧板包括保形内框架和刚性外框架，其中所述层压件附接到所述弹簧板的所述内框架。
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