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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：本发明提供了一种包括包括单片金刚石区域的电容器的电气装置。一种包括包括单片金刚石区域的电容器的电气装置，该电气装置包括：金刚石衬底100；在金刚石衬底上的第一电极层110；在第一电极层上的中间层115，该中间层115具有包括在105.cm‑2至109.cm‑2之间的位错密度；以及在中间层上的第二电极层120，其中，第一电极层和第二电极层掺杂有p型杂质，并且中间层掺杂有使中间层的位错钝化的n型深能级掺杂剂，使得由被中间层分隔的第一电极层和第二电极层所形成的堆叠之间的单片金刚石区域形成电容器。
主权项：1.一种包括包括单片金刚石区域的电容器的电气装置，所述电气装置包括：金刚石衬底100，在所述金刚石衬底上的第一电极层110，在所述第一电极层上的中间层115，所述中间层115具有包括在105.cm-2至109.cm-2之间的位错密度，以及在所述中间层上的第二电极层120，其中，所述第一电极层和所述第二电极层掺杂有p型杂质，并且所述中间层掺杂有使所述中间层的位错钝化的n型深能级掺杂剂，使得由被所述中间层分隔的所述第一电极层和所述第二电极层所形成的堆叠之间的所述单片金刚石区域形成所述电容器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 包括包括单片金刚石区域的电容器的电气装置
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