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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本公开提供一种对准方法和蒸镀方法，该对准方法包括：检测工序，对设置于第一物体的第一标记的位置和设置于第二物体的第二标记的位置进行检测；测量工序，对所述第一标记的位置与所述第二标记的位置的相对位置进行测量；以及移动工序，使用用于使所述第一物体移动的致动器来使所述第一物体进行移动，所述移动工序包括：比较工序，将通过所述致动器移动的所述第一物体的可动范围与所述相对位置进行比较；第一移动工序，在通过所述比较工序判断为所述相对位置超出所述可动范围的情况下，使所述第二物体与所述第一物体一起移动；以及第二移动工序，使所述第一物体以与所述第二物体分离的方式进行移动。
主权项：1.一种对准方法，其特征在于，包括：检测工序，对设置于第一物体的第一标记的位置和设置于第二物体的第二标记的位置进行检测；测量工序，对所述第一标记的位置与所述第二标记的位置的相对位置进行测量；以及移动工序，使用用于使所述第一物体移动的致动器来使所述第一物体进行移动，所述移动工序包括：比较工序，将通过所述致动器移动的所述第一物体的可动范围与所述相对位置进行比较；第一移动工序，在通过所述比较工序判断为所述相对位置超出所述可动范围的情况下，使所述第二物体与所述第一物体一起移动；以及第二移动工序，使所述第一物体以与所述第二物体分离的方式进行移动，在所述第一移动工序中使所述第一物体和所述第二物体移动的第一移动方向设为与所述第二物体相对于所述第一物体的所述相对位置大致相反的方向。
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