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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：提供对准标记及用于形成对准标记的方法。用于形成对准标记的方法为无光刻工艺并且包含以下操作。提供激光束。将激光束划分成彼此隔开的多个激光束。将多个激光束塑形成多个图案化光束，使得多个图案化光束塑形为具有对应于对准标记的图案。将多个图案化光束投影到半导体晶片上。
主权项：1.一种用于形成对准标记的方法，包括：提供激光束；将所述激光束划分成彼此隔开的多个激光束；将所述多个激光束塑形成多个图案化光束，所述多个图案化光束具有对应于所述对准标记塑形的图案；以及将所述多个图案化光束投影到半导体晶片上，以在所述半导体晶片中形成所述对准标记，其中所述对准标记具有多个对准线，所述多个对准线具有锥形端部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 对准标记及用于形成对准标记的方法
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