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一种镀厚铜设备 

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申请/专利权人:浙江长兴合利光电科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种镀厚铜设备,属于镀铜技术领域,以解决在芯片的表层通常会附着部分灰尘,由于灰尘在芯片表层的附着,在对芯片进行镀铜的过程中极易影响铜在芯片的附着力问题,包括反应筒,托导辅助架设置在反应筒的内端;驱动辅助机构设置在反应筒底部端面的内侧;定位辅助结构设置在托导辅助架与反应筒连接处的内侧;两个限位支架左右对称固定连接在反应筒顶部端面的外侧;清洁辅助机构设置在两个限位支架的内侧;在将芯片放置入反应筒的过程中,同步实现了对芯片表层灰尘的快速清洁工序,有效的保证了对芯片进行镀铜过程中铜在芯片的附着效果,提升了在对芯片进行镀铜处理后芯片成品的合格率,以及对芯片进行制造加工时的工作效率。

主权项:1.一种镀厚铜设备,其特征在于:包括反应筒1、托导辅助架2、驱动辅助机构、定位辅助结构、限位支架5、清洁辅助机构;所述托导辅助架2设置在反应筒1的内端;所述驱动辅助机构设置在反应筒1底部端面的内侧,驱动辅助机构包括有:驱动轴3,所述驱动轴3有两个,两个驱动轴3前后对称转动连接在反应筒1的内端,前端的驱动轴3同轴固定连接在驱动电机旋转轴的外侧;所述定位辅助结构设置在托导辅助架2与反应筒1连接处的内侧,定位辅助结构包括有:定位辅助轴4,所述定位辅助轴4左右对称滑动连接在反应筒1的内端;所述限位支架5有两个,两个限位支架5左右对称固定连接在反应筒1顶部端面的外侧;所述清洁辅助机构设置在两个限位支架5的内侧,清洁辅助机构包括有:清洁辊6,所述清洁辊6有两个,两个清洁辊6上下对称滑动连接在两个限位支架5的内侧。

全文数据:

权利要求:

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