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申请/专利权人：杭州士兰微电子股份有限公司
摘要：本发明提供了一种MEMS微镜及其制备方法，在内框架的顶面和底面分别设置第一线圈和第二线圈，所述第一线圈和所述第二线圈用于施加同向的电流，使得所述第一线圈和所述第二线圈产生的洛伦兹力可以叠加，增强驱动力。本发明通过将所述第一线圈和所述第二线圈布置在所述内框架的顶面和底面上，在施加同样的电流时，与将所述第一线圈和所述第二线圈布置在同一个表面上相比，线圈发热量更少，且在器件尺寸一定时，所述第一线圈和所述第二线圈的长度可以增加，从而进一步提高驱动力的大小以获得更大的偏转角度，且本发明无需增大所述第一线圈和所述第二线圈中通入的电流，可以避免由于线圈发热导致功耗增加或可靠性问题。
主权项：1.一种MEMS微镜，其特征在于，包括：微反射镜；内框架，环绕所述微反射镜设置，且通过一对连接梁与所述微反射镜连接；外框架，环绕所述内框架设置，且通过一对扭转梁与所述内框架连接；以及，第一线圈和第二线圈，分别盘绕在所述内框架的顶面和底面上，且所述第一线圈和所述第二线圈用于施加同向的电流。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州士兰微电子股份有限公司 MEMS微镜及其制备方法
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