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申请/专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
摘要：本发明的晶圆的粘接方法，包括以下步骤：采用喷涂装置向所述晶圆的待粘面喷涂熔融的聚乙烯蜡，其中所述喷涂装置的压缩空气的压缩力为9.5‑11.5atm，喷涂时，控制晶圆的温度在80‑95℃；以及所述晶圆的待粘面借助所述聚乙烯蜡被部分粘接于机台的预定面，并在所述晶圆的待粘面和所述机台的预定面之间注入固化胶。本发明可减少晶圆在后续工序中发生碎裂或损伤的可能。
主权项：1.一种晶圆的粘接方法，包括以下步骤：采用喷涂装置向所述晶圆的待粘面喷涂熔融的聚乙烯蜡，其中所述喷涂装置的压缩空气的压缩力为9.5-11.5atm，喷涂时，控制晶圆的温度在80-95℃；以及所述晶圆的待粘面借助所述聚乙烯蜡被部分粘接于机台的预定面，并在所述晶圆的待粘面和所述机台的预定面之间注入固化胶。
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