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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种增强SPV信号的装置，包括：硅片承载台，用于承载待处理的硅片；光源组件，用于向硅片发射紫外光；SPV信号处理结构，用于获取硅片上经过紫外光照射过的区域的SPV信号强度。本发明还涉及一种增强SPV信号的方法。本申请所提供的增强SPV信号的装置及方法，通过紫外光对硅片表面进行预处理，使得硅片表面形成纳米结构，当光线照射到硅片表面的微纳米结构时，会发生多次散射和反射，使得光在硅片内部的路径变长，增加了光与硅片的相互作用概率，从而提高了光捕获效率。这种增强的光捕获可以导致更多的光子被吸收，产生更多的电荷载流子，进而提高SPV信号。
主权项：1.一种增强SPV信号的方法，其特征在于，包括：向硅片发射紫外光；获取硅片上经过紫外光照射过的区域的SPV信号强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 增强SPV信号的装置及方法
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