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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：本发明涉及一种用于表征测试物体的表面形状的设备和方法。根据本发明的用于表征测试物体的表面形状的设备具有：测试布置130，230，用于使用测试波来确定测试物体111，112，113，211，212，213的表面形状，其中，该测试波具有由衍射光学元件处的衍射产生的波前；第一真空室110，210；以及第二真空室120，220，其中，第二真空室120，220具有用于存放至少两个衍射光学元件121，122，123，221，222，223的供应室。
主权项：1.一种用于表征测试物体的表面形状的设备，该设备包括：·测试布置130，230，用于使用测试波来确定测试物体111，112，113，211，212，213的表面形状，该测试波具有由衍射光学元件处的衍射产生的波前；·第一真空室110，210；以及·第二真空室120，220；·其中，该测试布置布置在该第一真空室内；·其中，该第一真空室配置成接收测试物体，以用于通过所述设备表征所述测试物体的表面形状；以及·其中，该第二真空室120，220包括供应室，用于在所述第一真空室接收所述测试物体时在真空中存放至少两个衍射光学元件121，122，123，221，222，223。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 用于表征测试物体的表面形状的设备和方法
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