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申请/专利权人：中山智隆新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种ICO靶材及其制备方法与应用。涉及溅射靶材技术领域。上述ICO靶材，按摩尔百分比计，包括以下组分：Ce：0.5％～2.5％；Al：0.05％～0.2％；Si：0.05％～0.25％；In：97～99.5％。本发明在原有Ce掺杂的ICO靶材基础上引入Al、Si元素，通过调控ICO靶材中各元素的用量，从而实现了ICO靶材的高密度性能。
主权项：1.一种ICO靶材，其特征在于：按摩尔百分比计，包括以下组分：Ce：0.5％～2.5％；Al：0.05％～0.2％；Si：0.05％～0.25％；In：97～99.5％。
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权利要求：
百度查询： 中山智隆新材料科技有限公司 一种ICO靶材及其制备方法与应用
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