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申请/专利权人：深圳市普瑞集成科技有限公司
摘要：本申请公开了一种ESD保护与隔离结构、MEMS器件及制造方法，涉及MEMS传感器技术领域。其中MEMS器件包括基板、设置于基板表面的固定电极、设置于固定电极表面的可动部，所述可动部与固定电极之间预留有微小间隙以实现可动部在静电或其他驱动下的机械运动；MEMS器件还包括设置于固定电极表面上的保护部，所述保护部位于可动部周侧并接地。本申请能够在不改变MEMS器件制造工艺的同时，起到在生产制造及使用过程中对MEME器件可动部进行静电保护和隔离的作用，从而确保MEMS器件能够正常工作。
主权项：1.一种ESD保护与隔离结构，其特征在于，包括设置于MEMS器件基板（1）的隔离层（10）顶部的保护部，所述保护部位于MEMS器件可动部（8）的周侧；所述保护部通过连接部穿过隔离层（10）并与所述基板（1）的衬底（11）的顶部相连接，用于将静电引导至所述衬底（11），且所述衬底（11）接地设置；所述保护部包括保护环（6）和或保护块（7），所述保护环（6）环绕在可动部（8）的周侧，所述保护块（7）具有多个且分布于可动部（8）的周侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市普瑞集成科技有限公司 一种ESD保护与隔离结构、MEMS器件及制造方法
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