龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种求出消耗部件的消耗度的等离子体处理装置。在载置台设置有能够调整载置会由于等离子体处理而被消耗的消耗部件的载置面的温度的加热器。加热器控制部控制向加热器供给的供给电力，以使加热器成为所设定的设定温度。在通过加热器控制部控制向加热器供给的供给电力以使加热器的温度固定后，测量部测量没有进行等离子体点火的未点火状态和进行等离子体点火后向加热器供给的供给电力下降的过渡状态下的供给电力。参数计算部使用由测量部测量出的未点火状态和过渡状态下的供给电力，对参数包括消耗部件的厚度的、计算过渡状态下的供给电力的计算模型进行拟合，来计算消耗部件的厚度。
主权项：1.一种等离子体处理装置，具有：腔室；等离子体生成器，其被配置为在所述腔室中生成等离子体；基板支承台，其布置在所述腔室中，所述基板支承台具有中央部和环状部；可消耗环，其以包围所述中央部上的基板的方式布置在所述环状部上；环加热器，其布置在所述环状部中；加热器电源，其被配置为向所述环加热器供给加热器电力，以维持所述环加热器处于恒定温度；电力检测部，其被配置为检测从所述加热器电源向所述环加热器供给的加热器电力；存储部，其被配置为存储参数，所述参数包括所述可消耗环的初始厚度、从所述等离子体向所述可消耗环的热输入量、所述可消耗环和静电卡盘之间的热阻；以及控制部，其被配置为基于如下的模型来确定所述可消耗环的当前厚度，所述模型由所存储的参数、以及第一恒定状态和第二恒定状态之间的过渡状态期间的所检测到的电力的变化来表示。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 等离子体处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号