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申请/专利权人：纽富来科技股份有限公司
摘要：本发明的一方式的多电子束描绘装置的特征在于，具备：产生激励光的激励光源；将激励光分割为多个光的多透镜阵列；从表面入射多个光并从背面射出多光电子束的光电面；通过使多光电子束的各束偏转从而进行独立地切换各束的束接通切断的独立消隐控制的消隐孔径阵列机构；具有电子透镜，通过使用电子透镜控制为束接通的多光电子束来照射试样的电子光学系统；以及在多光电子束的每次发射时，使激励光的产生停止的切换定时与各束的束接通切断的切换定时连动的控制电路。
主权项：1.一种多电子束描绘装置，其特征在于，具备：激励光源，产生激励光；多透镜阵列，将所述激励光分割为多个光；光电面，配置于所述多透镜阵列下，从表面入射所述多个光，从背面射出多光电子束；消隐孔径阵列机构，通过使所述多光电子束的各束偏转，从而进行独立地切换各束的束接通切断的独立消隐控制；电子光学系统，具有电子透镜，通过使用所述电子透镜控制为束接通的多光电子束来照射试样；以及控制电路，在所述多光电子束的每次发射时，使所述激励光的产生停止的切换定时与各束的束接通切断的切换定时连动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 纽富来科技股份有限公司 多电子束描绘装置以及多电子束描绘方法
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