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申请/专利权人：深圳米飞泰克科技股份有限公司
摘要：本申请提供了一种CIS晶圆测试系统及方法。所述方法包括：探针台、设置探针台上的探针卡、测试机和光源装置，光源装置设置于探针台上，光源装置分别与测试机和探针台电连接，测试机与探针台电连接；测试机，用于针对CIS晶圆的每个芯片，在芯片的预设光照时长内，控制光源装置发出芯片所需光强度的光信号，光信号通过探针卡作用于芯片上；光源装置，还用于在光信号通过探针卡作用于芯片上后，采集光信号的光参数，并根据光参数判断光信号的有效性，获得判断结果，并向探针台发送判断结果；探针台，用于接收来自光源装置的判断结果后，若判断结果为有效，则执行测试操作。本申请能够提供稳定的，满足不同场景需求的光源。
主权项：1.一种CIS晶圆测试系统，其特征在于，包括：探针台、设置于所述探针台上的探针卡、测试机和光源装置，所述光源装置设置于所述探针台上，所述光源装置分别与所述测试机和所述探针台电连接，所述测试机与所述探针台电连接；所述测试机，用于针对CIS晶圆的每个芯片，在预设光照时长内，接收所述光源装置采集的光信号数据后，根据所述光信号数据确定所述光信号的第一光强度；若所述第一光强度处于预设区间内，则控制所述光源装置继续发出所述第一光强度的所述光信号；若所述第一光强度不处于所述预设区间内，则控制所述光源装置将所述光信号的光强度从所述第一光强度调整为第二光强度，并发出所述第二光强度的所述光信号，所述第二光强度处于所述预设区间内，所述光信号通过所述探针卡作用于所述芯片上；所述光源装置，还用于在光信号通过所述探针卡作用于所述芯片上后，采集所述光信号的光参数，并根据所述光参数判断所述光信号的有效性，获得判断结果，向所述探针台发送所述判断结果；所述探针台，用于接收来自所述光源装置的所述判断结果后，若所述判断结果为有效，则执行测试操作。
全文数据：
权利要求：
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